产品展示| PRODUCT
您当前位置:首页 > 产品展示
光刻机专用UV-LED光源
① 曝光面积: 4'', 6'', 8''
② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
单波段和双波段耦合
③ 有效工作面积:
4'': 110*110mm
6'': 160*160mm
8'': 200*200mm
④ 不均匀性: ≤4% (max-min)/ (max+min) *100%
⑤ 光强/能量值:
4'': >100mw@365nm 25A
6'': > 50mw@365nm 25A
8'': 25-50mw@365nm 25A
⑥ 平行半角:
4'': ≤1.8°
6'': ≤1.3°
8'': ≤1.2°-2°
⑦ 工作距离: 100-350nm
⑧ 水冷方式